高純氦氣系統(tǒng)的難點(diǎn)不在介質(zhì)危險(xiǎn)性,而在泄漏率控制與供氣穩(wěn)定。本文從供氣模式、接口最小充分配置、密封與裝配質(zhì)量、管線應(yīng)力與振動(dòng)、以及峰值流量與切換窗口反推緩沖容積等角度,給出可落地的工程清單,并強(qiáng)調(diào)清潔干燥、置換驗(yàn)證與取樣路徑的閉環(huán)控制,幫助降低氦氣損耗、提升切換穩(wěn)壓能力與長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性。
2026-02-13 admin